Please use this persistent identifier to cite or link to this item: doi:10.24405/383
Title: Untersuchungen für den industriellen Einsatz der Nanometerkoordinatenmesstechnik
Authors: Gruhlke, Martin 
Language: ger
Subject (DDC): Ingenieurwissenschaften
Subject: AFM
Nanometrologie
Nanofilter
Temperatur
Kraftmikroskopie
Issue Date: 2009
Publisher: Universitätsbibliothek der HSU/UniBwH
Document Type: Thesis
Publisher Place: Hamburg
Abstract: 
Die Dissertation "Untersuchungen für den industriellen Einsatz der Nanometerkoordinatenmesstechnik" zeigt Lösungsmöglichkeiten für Probleme auf, die durch einen großflächigen Einsatz der Rasterkraftmikroskopie und durch die Nutzung von Prinzipien der Koordinatenmesstechnik entstehen. Hierzu wird zunächst der Stand der Technik von Produktion und ihrer Qualitätssicherung im Nanometerbereich und die zugehörige Richtlinienarbeit dargestellt. Als Beispiel für ein metrologisches System wird die Nanometerkoordinatenmessmaschine (NCMM) detailliert vorgestellt. --- Es werden verschiedene Ansätze zur Lösung thermischer Probleme anhand dieses Gerätes behandelt. Hierbei erfolgen nach einer umfassenden Analyse des Temperaturverhaltens konstruktive Maßnahmen zur Minimierung des Temperatureintrags sowie der Temperaturauswikung und eine Verbesserung der Wärmeabfuhr inklusive einer aktiven Regelung. Ferner werden mathematische Korrekturverfahren für Zwecke der Temperaturkompensation der Messdaten evaluiert. --- Nach einer Modifikation bzw. Ergänzung einer vorhandenen Optik werden Algorithmen zur automatischen Probe-Spitze-Annährung sowohl in vertikaler als auch lateraler Richtung implementiert. Zu diesem Zwecke wird ferner eine Zusatzoptik konstruiert und erprobt, welche im Austausch mit dem AFM in der Maschine eingesetzt werden kann. --- Nach einer Analyse der systemimmanenten Grenzen der AFM-Messung mit der NCMM werden Konsequenzen bzgl. Messgeschwindigkeiten und Messrichtungen ausgezeigt sowie die Genauigkeit des Gesamtsystems charakterisiert. --- Schließlich wird als konkrete Industrieanwendung die Messung sogenannter Nanofilter mit der NCMM vorgestellt. Die Arbeit endet mit einem Ausblick auf weitere Herausforderungen, die sich teilweise aus den aufgezeigten Entwicklungen ergeben haben.
Organization Units (connected with the publication): Mess- und Informationstechnik 
DOI: https://doi.org/10.24405/383
Advisor: Rothe, Hendrik 
Referee: Krüger, Klaus
Grantor: HSU Hamburg
Type of thesis: Doctoral Thesis
Exam date: 2009-08-20
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