Please use this persistent identifier to cite or link to this item: doi:10.24405/383
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorRothe, Hendrikde_DE
dc.contributor.authorGruhlke, Martin-
dc.date.accessioned2017-10-24T14:02:30Z-
dc.date.available2017-10-24T14:02:30Z-
dc.date.issued2009-
dc.identifier.otherhttp://edoc.sub.uni-hamburg.de/hsu/volltexte/2009/2089/-
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.24405/383-
dc.description.abstractDie Dissertation "Untersuchungen für den industriellen Einsatz der Nanometerkoordinatenmesstechnik" zeigt Lösungsmöglichkeiten für Probleme auf, die durch einen großflächigen Einsatz der Rasterkraftmikroskopie und durch die Nutzung von Prinzipien der Koordinatenmesstechnik entstehen. Hierzu wird zunächst der Stand der Technik von Produktion und ihrer Qualitätssicherung im Nanometerbereich und die zugehörige Richtlinienarbeit dargestellt. Als Beispiel für ein metrologisches System wird die Nanometerkoordinatenmessmaschine (NCMM) detailliert vorgestellt. --- Es werden verschiedene Ansätze zur Lösung thermischer Probleme anhand dieses Gerätes behandelt. Hierbei erfolgen nach einer umfassenden Analyse des Temperaturverhaltens konstruktive Maßnahmen zur Minimierung des Temperatureintrags sowie der Temperaturauswikung und eine Verbesserung der Wärmeabfuhr inklusive einer aktiven Regelung. Ferner werden mathematische Korrekturverfahren für Zwecke der Temperaturkompensation der Messdaten evaluiert. --- Nach einer Modifikation bzw. Ergänzung einer vorhandenen Optik werden Algorithmen zur automatischen Probe-Spitze-Annährung sowohl in vertikaler als auch lateraler Richtung implementiert. Zu diesem Zwecke wird ferner eine Zusatzoptik konstruiert und erprobt, welche im Austausch mit dem AFM in der Maschine eingesetzt werden kann. --- Nach einer Analyse der systemimmanenten Grenzen der AFM-Messung mit der NCMM werden Konsequenzen bzgl. Messgeschwindigkeiten und Messrichtungen ausgezeigt sowie die Genauigkeit des Gesamtsystems charakterisiert. --- Schließlich wird als konkrete Industrieanwendung die Messung sogenannter Nanofilter mit der NCMM vorgestellt. Die Arbeit endet mit einem Ausblick auf weitere Herausforderungen, die sich teilweise aus den aufgezeigten Entwicklungen ergeben haben.de_DE
dc.description.sponsorshipMess- und Informationstechnikde_DE
dc.formatapplication/pdf-
dc.language.isodede_DE
dc.publisherUniversitätsbibliothek der HSU/UniBwHde_DE
dc.subject.ddcIngenieurwissenschaftende_DE
dc.subject.otherAFM-
dc.subject.otherNanometrologie-
dc.subject.otherNanofilter-
dc.subject.otherTemperatur-
dc.subject.otherKraftmikroskopie-
dc.titleUntersuchungen für den industriellen Einsatz der Nanometerkoordinatenmesstechnikde_DE
dc.typeThesisde_DE
dcterms.dateAccepted2009-08-20de_DE
dc.contributor.refereeKrüger, Klausde_DE
dc.identifier.urnurn:nbn:de:gbv:705-opus-20899-
hsu.accessrights.dnbfreede_DE
hsu.contributor.authorGruhlke, Martin-
dcterms.bibliographicCitation.originalpublisherplaceHamburgde_DE
dc.contributor.grantorHSU Hamburgde_DE
dc.identifier.urlhttp://edoc.sub.uni-hamburg.de/hsu/volltexte/2009/2089/-
dc.type.thesisDoctoral Thesisde_DE
local.submission.typefull-textde_DE
local.date.available2009-08-28-
item.grantfulltextopen-
item.fulltext_sWith Fulltext-
item.languageiso639-1de-
item.fulltextWith Fulltext-
item.openairetypeThesis-
Appears in Collections:Publications of the HSU Researchers
Files in This Item:
File SizeFormat
openHSU_383.pdf7.5 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record

CORE Recommender

Google ScholarTM

Check


Items in openHSU are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.