Die optische Kohärenztomographie (OCT) ist eine neuartige Methode zur zerstörungsfreien, kontaktlosen und multidimensionalen Visualisierung von Strukturen und Grenzschichten mit zahlreichen Anwendungen zur Untersuchung von biologischen Proben. Anwendungen außerhalb von Medizin und Biologie wurden bisher allerdings kaum beschrieben. Eine solche Anwendung der OCT ist die Echtzeit-Kontrolle der Prozessparameter in der Lasermikromaterialbearbeitung, welche hohe Anforderung an die Positionier- und Justiergenauigkeit des verwendeten Systems stellt. Eine genaue Ausrichtung der Probe und eine Echtzeit-Kontrolle der Parameter wie der Ablationsrate und der Bearbeitungsposition sind hierbei erforderlich. --- Im Rahmen dieser Arbeit werden die Integration eines OCT-Systems mit der Fähigkeit zur Oberflächendarstellung in ein bereits existierendes F2-Laserbearbeitungssystem beschrieben und mögliche Anwendungen zu Justierzwecken oder der zerstörungsfreien Charakterisierung von mikrostrukturierten Oberflächen demonstriert. Es wird gezeigt, dass eine zuverlässige Detektion der Probenoberfläche zu Justagezwecken und eine anschließende Lagekontrolle mit Hilfe der OCT genauso möglich sind wie die Bestimmung des Laserabtrags. Die erzeugten Oberflächenbilder des OCT sind quantitativ vergleichbar mit denen bekannter Analysewerkzeuge wie z. B. der Rasterelektronen-, Auflicht- und konfokalen Mikroskopie. Die erreichten Auflösungen liegen axial bei ~120 nm und lateral bei