"In den Mikrosystemen vereinen sich beide Bauteilgruppen. Professor Jens P. Wulfsberg, Leiter des Instituts für Konstruktions- und Fertigungstechnik der Helmut-Schmidt-Universität Hamburg, doziert: Mikroelektromechanische Systeme, oder MEMS, sind integrierte Mikrogeräte oder Systeme, welche elektrische und maschinelle Komponenten kombinieren, hergestellt als integrierte Schaltung (IC), kompatibel zu Stapelverarbeitungs-Techniken und variieren in der Größe von einigen Mikrometern zu wenigen Millimetern. Diese Systeme enthalten Sensorik, Aktorik sowie Datenverbeitungskapazität und werden zur Kontrolle bzw. Steuerung der physischen Welt eingesetzt."